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6寸、8寸、12寸冷热盘

排接触式冷热盘

冷盘温度差≦0.2℃

热盘温度差150℃内≦1.0℃;

200℃以内≦2.0℃;

300℃以内≦3.0℃;

350℃以内≦5.0℃;